1

一种射频放电等离子体诊断装置

中国

发明

201110003263.4

大连理工大学

授权

2

一种射频等离子体反应室

中国

发明

201310521255.8

大连理工大学

授权

3

一种体产生负氢离子机制的等离子体腔室

中国

发明

201410666230.1

大连理工大学

受理

4

一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针

中国

发明

201510263218.0

大连理工大学

受理

5

一种用于测定等离子体重微量粒子浓度的吸收光谱

中国

发明

201510414713.7

大连理工大学

受理

6

一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法

中国

发明

201510414721.1

大连理工大学

受理

7

一种数值模拟等离子体放电的系统及方法

国际

发明

PCT/CN2015/095219

北京大学

  受理