软件著作权-PSEG

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软件著作权

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PSEG课题组在国家重大科技专项“等离子体工艺腔室的多场耦合仿真”的支持下，开发出一套达到国际先进水平的可以对半导体生产设备研制提供优化设计方案的有自主知识产权的等离子体多场耦合仿真软件工具——MAPS软件。其中申请的软件著作权共9项。

序号	名称	登记号	著作权人
1	容性耦合等离子体放电模拟软件	2012SR060044	大连理工大学
2	感性耦合等离子体放电模拟软件	2013SR118998	大连理工大学
3	二维隐格式静电型容性耦合等离子体粒子蒙卡模拟软件	2013SR118553	大连理工大学
4	容性耦合等离子体磁控放电粒子模拟软件	2014SR155124	大连理工大学
5	等离子体源整体模型模拟软件	2014SR152023	大连理工大学
6	含介质容性耦合等离子体放电模拟软件	2015SR147142	大连理工大学
7	等离子体多物理场分析模拟软件	2015SR148227	大连理工大学
8	含鞘层模块感性耦合等离子体放电模拟软件	2015SR203771	大连理工大学
9	离子束与等离子体相互作用粒子模拟软件	2016SR223214	大连理工大学