团队合照

射频等离子体物理团队始建于2001年，依托大连理工大学物理学院和三束材料改性教育部重点实验室，长期致力于低气压低温射频等离子体源及相关机理的研究工作，并面向半导体芯片制造工艺中的等离子体装备，开展等离子体工艺腔室的多物理场仿真及先进等离子体设备的研发。从2007年至今，始终是大连理工大学科技创新团队，也是我校等离子体物理国家重点学科和教育部三束材料改性重点实验室的重要支撑。

团队现有导师7人，均为博士生导师；其中教授4人，副教授3人。团队负责人王友年教授为教育部第四批长江学者特聘教授，曾任国务院学科评议组成员、中国力学学会等离子体专业委员会主任、国家自然科学基金委数理学部学科评议组成员。

团队主要是面向半导体芯片制造工艺中的等离子体装备（等离子体刻蚀机、镀膜机），开展射频等离子体物理基础以及等离子体工艺腔室的仿真建模研究，先后承担了国家重大科技专项、国家重点科技计划、国家国际合作科技专项及国家自然科学基金重点项目等研究任务。与国内多所大学，研究所和公司建立了良好的合作关系。同时与美国、比利时、德国、加拿大、韩国等多个著名的科研院所有着良好的合作。近5年承担的国家级纵向科研究经费超过1800万元、企业横向合作经费超过1000万元。该团队的研究生是完成上述研究项目的主力军。

团队在射频等离子体物理的前沿基础研究方面取得重要进展，先后在实验上首次观察到射频放电装置中“电子反弹共振加热”、“负离子分层”及“非线性电磁驻波”等新的物理现象，先后在物理学国际顶级刊物“Physical Review Letters”上发表6篇论文。近年5年该团队在国际学术期刊上共发表论文86篇、申请国际和中国发明专利12项，其中研究生多为第一作者。

团队为解决我国半导体芯片制造工艺中等离子体装备（等离子体刻蚀机）研发的一些关键难题，组成由多名导师和30多名硕士和博士研究生的攻关小组，历经10多年，建立了系统、完善的理论模型，自主研制了相关的实验诊断平台，并开发了具有自主知识产权的“等离子体源多物理场耦合软件”（MAPS）。现在该软件已为沈阳拓荆科技公司、北方华创公司、苏州迈为公司等多家半导体装备制造企业提供仿真设计服务，特别是已向国内某大型企业（涉密）进行该软件的知识产权转让，用于该企业研发具有自主知识产权的半导体工艺装备。