应等离子体化学国际研讨会组委会主席Satoshi Hamaguchi教授的邀请,刘永新教授于2023年5月23日,在“第25届等离子体化学国际研讨会”上作题为“Ignition physics of a capacitively coupled RF discharge”的学术报告。在报告中,刘永新教授从研究动机,研究步骤到研究结果循序渐进的介绍了实验室近期所取得的几项进展:1)射频激励下气体击穿的一般特征,2)调幅脉冲下等离子体参数与电参数的时间演化,3)双脉冲激励下电子雪崩过程。这几个方面的成果系统总结了课题组在脉冲调制射频容性耦合等离子体实验诊断及数值模拟研究方面的研究进展,不仅推动了射频等离子体物理的发展,也对国内半导体工业中等离子体源参数的优化提供科学参考。
国际等离子体化学研讨会(ISPC)由国际等离子体化学学会(IPCS)主办,该学会是国际上最大的非营利性等离子体化学专业学会。国际等离子体化学学会成立于1999年,是"国际理论化学和应用化学联合会(IUPAC)等离子体化学分会"的继承者。国际等离子体化学分会历史悠久,可追溯到IPCS成立之前。该研讨会于1973年首次在德国基尔举行,此后每两年在世界各地不同地点举行一次。