张权治副教授获辽宁省自然科学二等奖

2023年4月28日，辽宁省人民政府正式公布了2022年度科学技术奖评审结果。张权治副教授的“射频容性耦合等离子体的粒子模拟方法及电子加热机制”项目获得辽宁省自然科学二等奖。

该项目基于射频等离子体技术的材料刻蚀和薄膜沉积工艺是半导体芯片制造的核心，建立射频等离子体动理学模型，研制多种实验诊断系统。将数值模拟和实验相结合，研究了射频等离子体的加热机制、放电模式及离子能量的调控技术，推动射频等离子体理论和数值模型的发展，为离子能量的大范围调控提供技术手段和理论依据，对提高芯片制造水平有重要意义。