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刘永新教授应邀在第八届国际微电子和等离子体技术会议暨第九届国际功能材料研讨会上作邀请报告

2021-01-23  点击:[]

应第八届ICMAP及第九届ISFM会议主席Suk Jae Yoo教授及Jin-Hyo Boo教授的邀请,刘永新教授于2021年1月18日,在“第八届国际微电子和等离子体技术会议暨第九届国际功能材料研讨会”上作题为“Avalanche Induced Rapid Impedance Change and Electron Power Absorption During Gas Breakdown under Radio-Frequency Excitation”的学术报告。

在报告中,刘永新教授从实验、模拟以及计算模型三个角度详细分析了在脉冲调制射频容性耦合氩气放电过程中电参数和等离子体参数的时间演变及其内在联系。此项研究结果对于各种气体以及各种等离子体源的射频击穿具有普遍意义。并且在击穿过程中,射频周期(或频率)和负载阻抗的时间演化对于设计频率调谐匹配尤为重要,广泛应用在一些加工时间较短的表面处理过程中。

第八届ICMAP旨在提供一个开放的论坛,讨论包括微电子器件在内的等离子体应用研究和开发的各个领域的科技成果现状。第九届ISFM是两年一度的多学科会议,汇集了等离子体与功能材料的科学家、研究人员和工程应用人员,广泛涵盖了与能源、环境、生物医学、电子和纳米结构材料相关的关键主题。

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