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刘永新教授应邀在全国“放电与等离子体基础理论”视频课程上作学术讲座

2020-08-12  点击:[]

应中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会的邀请,刘永新教授于2020年7月31日,在“第33期高压放电与等离子体应用”视频系列研讨会暨“放电与等离子体基础理论”视频课程上做题为“低气压射频等离子体中若干物理问题研究”的学术讲座。在讲座中,刘永新教授围绕着射频等离子体中五个关键的前沿物理问题进行介绍:1)电子加热机制,2)放电模式,3)射频鞘层动力学与离子能量调控,4)非线性驻波效应与等离子体均匀性,5)等离子体的击穿与脉冲调制。这几个方面的成果涵盖了PSEG课题组近10年在低气压射频容性耦合等离子体实验诊断及数值模拟研究方面的研究进展,不仅推动了射频等离子体物理的发展,也对国内半导体工业中等离子体源参数的优化提供科学参考。

刘永新教授于2013年在大连理工大学等离子体物理专业获得博士学位(导师:王友年教授),2016~2017年在美国休斯敦大学做访问学者,2017年获得国家优秀青年基金资助,同年被特评为教授。他在SCI收录的国际学术期刊上发表论文50余篇,其中第一/通讯作者论文20余篇(包括3篇PRL、7篇PSST、1篇APL),并取得了一些创新性的研究成果,如实验上首次观察到“电子反弹共振加热”现象、“辉光条纹”现象,以及“非线性驻波效应”等,以第一/通讯作者的身份,3项研究成果均发表在物理学顶级期刊Phys. Rev. Lett.上。先后在国内/国际重要学术会议上做大会邀请报告3次,国际会议分会邀请报告4次。2017年,获得亚太物理联合会颁发的“DPP Young Research Award”。2019年获全国等离子体科学技术会议首届“青年创新奖”。

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