2017-06-26 点击:[]
感性耦合等离子体在双腔室中扩散特性的实验研究
反应性气体容性耦合放电电子动理学特性混合模拟
容性耦合硅烷混合气体及硅烷尘埃等离子体放电特性的流体力学模拟研究
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