2017-05-08 点击:[]
射频感性耦合等离子体在双腔室中放电特性的研究
电磁效应的数值模拟
CCP放电中电磁效应和电非对称效应对等离子体特性的影响
二次电子发射效应对容性耦合等离子体的影响
汇报PPT详见附件
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