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Tokyo Electron Ltd.代表同PSEG课题组进行射频等离子体放电特性的相关问题进行深入探讨与研究

2019-04-09  点击:[]

    2019年4月8日至2019年4月10日,PSEG课题组开展了由王友年教授、宋远红教授共同组织发起的,刘永新教授,高飞副教授,张钰如副教授参与的射频等离子体放电特性研究进展研讨会,并邀请Tokyo Electron Ltd.的科学技术发展中心的领导 Ryukichi Shimizu 等8人参加此次研讨会。

    4月8日下午三点半,在物理学院系楼322教室,Ryukichi Shimizu先是以"Introduction of Tokyo Electron and plasma developments"作为题目为到场的参会人员简单介绍了一下Tokyo Electron Ltd.以及公司在等离子体方面的应用以及发展,并对到场的参会人员提出的问题进行了细致全面的回答,交流。

    4月9日下午一点半,在主楼西侧楼的219会议室,先是由参会的Tokyo Electron Ltd.的科学技术发展中心的带头人 Ryukichi Shimizu 先生讲解了此次会议所述报告大致内容——利用容性耦合等离子体源(Capacitively Coupled Plasma Source,CCP)刻蚀,之后由三人代表分别从实验诊断上和数值模拟上讲述了Tokyo Electron Ltd.利用CPP源刻蚀所取得的进展,以及对未来的一些可能畅想。并对参会的王友年教授、宋远红教授等人提出的问题进行细致全面的回答,和参会的人员在CCP的刻蚀方面进行了充分的交流,彼此间收获颇丰。接下来由张钰如副教授从数值模拟上介绍了PSEG课题组在最近几年内利用不同的模型发表的关于CCP和ICP的文章;最后,由PSEG课题组的刘永新教授从实验诊断上介绍了PSEG课题组实验室仪器以及近几年发表的CCP和ICP在实验方面上的文章,并对Tokyo Electron Ltd.参会人员提出的疑问进行了回答。       

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