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2016-2017学年
2017年7月11日组会--15级硕士中期


汇报人 主 题
白立水
脉冲容性耦合等离子体中高能电子动力学研究
胡艳婷
CCP放电中电非对称效应和电磁效应的流体力学模拟
刘 慧
脉冲调制常压射频介质阻挡氩氧混合放电特性模拟研究
孙婷婷
负氢离子源扩散腔室等离子体性质的仿真研究
王彦洁
射频感性耦合等离子体内背景气体对流过程对放电机制的影响
杨 雪 脉冲调制射频对感性等离子体CF4/Ar混合放电原子层刻蚀影响的研究

汇报PPT详见附件