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专利申请
专利申请

 

    PSEG课题组承担的“等离子体工艺腔室的多场耦合仿真”课题的主要任务是开发一套具有自主知识产权的等离子体多场耦合仿真软件工具—MAPS软件。在实验平台的升级以及实验诊断平台的升级制作过程中主要做了如下创新性的工作,并申请了10项国内发明专利和1项国际发明专利。

 

序号

专利名称

国别

类别

申请(专利)号

专利权人

状态

1

一种射频放电等离子体诊断装置

中国

发明

201110003263.4

大连理工大学

授权

2

一种射频等离子体反应室

中国

发明

201310521255.8

大连理工大学

授权

3

一种体产生负氢离子机制的等离子体腔室

中国

发明

201410666230.1

大连理工大学

受理

4

一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针

中国

发明

201510263218.0

大连理工大学

受理

5

一种用于测定等离子体重微量粒子浓度的吸收光谱

中国

发明

201510414713.7

大连理工大学

受理

6

一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法

中国

发明

201510414721.1

大连理工大学

受理

7

一种数值模拟等离子体放电的系统及方法

国际

发明

PCT/CN2015/095219

北京大学

  受理