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简介

PSEG课题组简介

2016-09-24  点击:[]

全体成员(摄于201411月)

 

PSEG课题组长期致力于低气压低温射频等离子体源及相关机理的研究工作。本课题组隶属于大连理工大学物理与光电工程学院。全体成员包括4位正教授,4位副教授,4位助理教授,以及超过30名博士和硕士研究生。

到目前为止,本课题组建立了较为完善的理论模型并搭建了相关的实验设备。理论模型中包括了Fliud模型,Fluid/MC模型,PIC/MC模型和Global模型。实验室目前拥有容性和感性放电装置,以及各种诊断工具,例如浮动双探针(自制),减速场能量分析仪和ICCD相机等。

当前本课题组主要涉及的研究方向有驻波效应,反常电子加热机制,脉冲等离子体,碳氟等离子体,和超大规模集成化低k系数CNx薄膜制备等。另外,还新增了一个用于中性束加热的ITER专项的负氢离子源装置。上述研究方向是由多个不同基金支持的,如国家科学基金会,国家科技重大专项,国际科技合作项目等。

目前为止,本课题组已经与国内多所大学,研究所和公司建立了良好的合作关系。另外,也与国际上多个著名的科研院所有良好的合作,如比利时,德国,加拿大和韩国。PSEG课题组正在不断发展壮大,真诚的希望能与更多的科研院所发展合作关系。

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