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实验室
双频容性耦合等离子体源

 

 

 

 

实验装置主要由5部分组成:

1.    射频电源

由高低频的两个射频电源构成,为Thamway, Japan 生产。高频电源工作频率为60MHz,低频电源频率可调,从0.1 MHz3 MHz

2.    放电腔室

放电腔为圆柱形腔室,内径280 mm,高度250 mm。腔室上下有一对平行平板电极。上电极直径210 mm,接射频电源,下电极直径150 mm,接地。平行平板间距可调,从10 mm60 mm。腔室器壁上开有若干法兰口,用于观察放电或加入诊断设备。

3.    真空系统

该部分由机械泵和分子泵组成,通过管道抽走真空室内的气体。使用插入真空室的电离规和电阻规测量真空室气压。

4.    气体控制系统

该部分是由质量流量控制器和气瓶以及气体管路组成。气体通过上极板的气孔均匀的充入真空室。抽气口位于真空室底部,调节进气和抽气速度可维持一定的真空室气压。

5.    诊断系统

可加的诊断系统有:示波器,探针,质谱,光谱。